Nitrid silicon metel lefel uchel

Silicon nitrideMae gan ffilmiau tenau strwythur trwchus, cryfder uchel a gwrthiant gwisgo da, a gellir eu defnyddio fel cydrannau strwythurol mewn dyfeisiau MEMS. Profwyd modwlws a chaledwch y ffilmiau silicon nitride yn y dull PECVD, a dadansoddwyd effeithiau tymheredd dyddodiad a chymhareb llif nwy adweithio ar fodwlws yr ifanc a chaledwch y ffilmiau. Defnyddiwyd ffilm silicon nitride fel trawst atal i ffugio switshis RF MEMS.

1.Silicon nitridMae cerameg yn gerameg strwythurol tymheredd uchel a cryfder uchel gyda rhagolygon datblygu eang. Mae ganddo berfformiad uchel (megis cryfder uchel, sefydlogrwydd sioc thermol da, caledwch blinder uchel, cryfder ystwyth uchel ar dymheredd yr ystafell, ymwrthedd gwisgo, ymwrthedd ocsidiad, ymwrthedd cyrydiad, ac ati), ac fe'i defnyddiwyd yn helaeth ym mhob cefndir. Mae dulliau paratoi nitrid silicon yn bennaf yn cynnwys sintro adwaith (Rs), sintro pwysau poeth (HPS), sintro pwysau atmosfferig (PLS) a sintro pwysau niwmatig (GPS). Ar hyn o bryd, y brif broblem yw bod gan gynhyrchion cerameg silicon nitrid galedwch isel a chost uchel. Yn y dyfodol, mae angen gwella'r prosesau melino, mowldio a sintro a chyfansawdd silicon nitrid a charbid silicon i ddatblygu gwell cerameg silicon nitrid.

Tagiau poblogaidd: nitrid silicon metel lefel uchel, gweithgynhyrchwyr nitrid silicon metel lefel uchel Tsieina, cyflenwyr, ffatri